用于晶圓廠設備監(jiān)控的預測性維護方案
半導體設備工程師必須密切監(jiān)控氣體瓶柜和冰水主機的運行狀態(tài)，以確保設備監(jiān)控系統(tǒng)的效能。透過及時調(diào)整這些關鍵設備，工程師可以預防生產(chǎn)線的中斷，從而避免可能導致的重大損失。這種主動的監(jiān)控和維護策略對于保持半導體制造流程的順暢和效率至關重要
 
用戶需求
同時要量測電流訊號和接收來自氣瓶柜加密過的信息，并傳遞到場域內(nèi)部的數(shù)據(jù)收集系統(tǒng)
 
解決方案
1. 監(jiān)控流量計/水位傳感器的電流訊號：
• 需要量測范圍在4至20mA的電流訊號
2. 接收加密的OPC UA信息：
• 從氣瓶柜接收經(jīng)過加密的OPC UA信息
3. 資訊整合與傳遞：
• 將收集到的信息進行客制化整合后，透過Modbus TCP通訊協(xié)議發(fā)送至場域內(nèi)部的數(shù)據(jù)收集系統(tǒng)
• 有效率的大量部署